机器人MCL/MFL/MFS系列
- 大型液晶玻璃基板搬运机器人/洁净室搬运机器人/半导体晶片搬运用机器人
负载:50KG-165KG
动作范围:1215mm-2650mm
控制柜:DX100/SR100
用途:搬运、半导体、洁净室
产品详细
适用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
适用于第8代(2200*2500mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
更大化利用长距离上下屈伸、低pass line以及双手臂的特性,实现洁净室内多层液晶玻璃基板箱体内的高速搬运。
适用于第8代(2200*2500mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬运。
高速、稳定搬运,提高生产效率。
高度柔性动作,大幅度削减配套设备费用。
长期保持高洁净度,降低运营成本。
大幅缩短生产线建立时间。
更大化利用长距离上下屈伸、低pass line以及双手臂的特性,实现洁净室内多层液晶玻璃基板箱体内的高速搬运。